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功率器件產(chǎn)線測試系統(tǒng)
實現(xiàn)全自動化測試過程，滿足不同器件測試對測試機的要求。

本產(chǎn)品為IGBT、SiC等功率半導(dǎo)體器件提供全套功率測試解決方案，可高效實現(xiàn)從晶圓級到最終產(chǎn)品的ISO、DC、AC等全套測試，實現(xiàn)全自動化測試過程，并配置豐富的測試接口和功能模塊選擇，滿足不同器件測試對測試機的要求。

產(chǎn)品特點
  • 01
    測試范圍

    AC測試：1500V/4000A，DC測試：2000V/2000A

  • 02
    測試功能

    接觸可靠性測試、ISO測試、DC測試、AC測試等

  • 03
    測試對象

    SiC/IGBT 晶圓、芯片、單管、模塊，針對不同封裝定制測試治具

  • 04
    測試過程

    全自動化測試過程，自動生成數(shù)據(jù)報表

  • 05
    回路雜感

    <15nH，不含待測對象及socket

  • 06
    保護功能

    過流保護閾值可設(shè)置，保護時間<2us

  • 07
    測試效率

    UPH>200，具體依據(jù)實際測試對象及測試項目確定

  • 08
    測試流程

    可根據(jù)具體要求對測試功能模塊進行選擇和測試流程變更

  • 09
    運行模式

    可根據(jù)不同測試要求選擇各功能并行或者異步模式運行

關(guān)鍵參數(shù)

供電電源電壓220V±10%(單相+PE)，50Hz±10%，10kW

測試對象SiC/IGBT 晶圓、芯片、單管、模塊

測試項Kelvin，ISO，SW，SC，Qg，DC，RgCg ，UIS等

AC測試最大電壓電流1500V，多脈沖 4000A，短路12000A@10us

DC測試最大電壓電流2000V，2000A

UIS測試最大電壓電流3000V，200A

RgCg測試電壓Vds：1500Vmax，Vgs ：±40V

AC測試雜感＜15nH，不包含被測器件及socket

AC測試過流保護＜2us

測試效率UPH>200，具體依據(jù)實際測試對象及測試項目確定